ULPA無塵室及HVAC用濾芯

以0.1μm為基準，ULPA的收集效率達到99.999％或更高。適用於要求潔淨度為100級及以下，潔淨度要求較高的半導體、LCD和藥品的製造過程；主要應用於FFU系統。

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